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压力差测试设备：

       压力差精确测量可以使用微差压计、排泥管真空压力表、指南针真空压力表或电子式压力计。总而言之，只需检测范围和精确度满足仪器设备就可以。气压表的精度等级为数值的5%，视测量范围压力允许值来定。一般0~5mmAq（0-50Pa）能够包含室内室外压力差的测量。

压力差检验规定：

       静压差的测量基本要求洁净室中的所有门都关掉。在清洁平面内按洁净度等级由高到低的顺序开展，直到检测出和外界立即连接的屋子。精确测量支管可坐落于房间内随意部位，不会受到气旋危害，精确测量支管表层与气旋的流线型平行面，测量记载的数据信息应具体到1.0Pa。

压力差检验流程：

1、首先把全部门关掉。

2、用微差压计精确测量洁净室中间、洁净室过道中间、过道和外界间的压差。

3、随后纪录所有数据：压力差规范标准依据洁净室设计方案或工艺标准明确待测洁净室的正压力或负压值。

(1)不同级别的洁净室或洁净室和非洁净室的静压差不应小于5Pa。

(2)洁净室与外部的静压差不应小于10Pa。

(3)空气洁净度等级严苛于5级(100级)的单向流洁净室打开门时，门里0.6m处房间内工作台面的粉尘浓度标准不得超过粉尘浓度标准限制值的相对应等级。

(4)如无法达到以上规范标准，应重新规划排风量和风量，直到达标。